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Nexisense MF-4000 系列气体质量流量计 | MEMS 微小气体流量计 3mm/8mm 通径 RS485 RS232 模拟输出 精密热式质量流量传感器
焦点版块
解决微小管径低速气体流量精准计量痛点，提供 MEMS 直测、高灵敏度、无补偿的质量流量解决方案
Nexisense MF-4000 系列微小气体质量流量计（MF-4003/MF-4008）专为 3mm 与 8mm 通径设计，最大流量可选 2.3~5 SLPM（MF-4003）与 10~50 SLPM（MF-4008），精度 ±(1.5+0.2FS)%，重复性 0.25%，压损低至 100Pa，特别适合空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等常见气体的高精度计量。
三大核心卖点：
MEMS 高精度微小流量测量：热质量原理，在单个芯片上集成多传感器，量程比 100:1，灵敏度高，极小起始流量即可准确计量，无需温压补偿，重复性优异（0.25%）。
低压损与快速响应：最大压损仅 100Pa（MF-4003）~ 600Pa（MF-4008），响应时间 10ms（可设置 20~1000ms），对管路系统影响极小，适合精密过程控制。
多输出易集成 IoT 能力：支持线性模拟电压 0.5-4.5VDC、RS232/RS485（Modbus 可选）、4 位 7 段 LED 数码管显示（瞬时 SLPM + 累积 SL），三个按键操作方便，便于接入 PLC、DCS 或上位机系统，实现实时数据采集与远程监控。
概述
Nexisense MF-4000 系列气体质量流量计（型号 MF-4003 通径 3mm、MF-4008 通径 8mm）是基于 MEMS（微机电系统）传感芯片研发的热式气体质量流量计。其核心原理利用流动气体传热传质的依存关系：在传感器上下游产生温度变化，从而得到气体的质量流量。
当芯片处于工作状态时，在传感器周边形成稳定的温度场分布；一定质量的气体流过时，流动破坏该温度场分布，形成取决于气体质量和速度的特定温度场变化。芯片上的传感器测量这一变化，通过专用电路放大、调理并线性化处理，直接输出高质量流量或总流量。该设计无需温度压力补偿，保证了高精度计量，同时实现热源产生与温度测量同步。
产品结构紧凑，重量轻（约 71g~74g），机械接口灵活（BST1/4、R1/4、快速接头 4mm/6mm/8mm 可选），支持卡口式快速安装与转换。显示采用 4 位 7 段 LED 数码管，带 2 个指示灯，可同时显示瞬时流量（SLPM，标况 L/min）与累积流量（SL，标况 L），显示分辨率精细（0.001/0.01/0.1 可选）。功能包括三个按键操作、零点漂移控制、输出漂移低（±0.12%/℃）。
Nexisense 在保留 MEMS 核心可靠性的基础上，强化工业 IoT 集成：可选 RS485/RS232 数字输出，支持上位机查询与参数设置；模拟电压输出便于传统 PLC 接入；电源 8-24VDC，低功耗 50mA。系统集成商可轻松将其组网，实现微小气体流量的数字化管理与追溯；工程承包商则能在医疗呼吸设备、气体配比、环境采样、实验室分析等项目中快速部署，确保计量过程稳定、高效与低维护。
该系列标准校准气体为空气（20℃，101.325kPa），支持多种气体介质选型，最大工作压力 0.5MPa，工作温度 -10~55℃，是小管径低速气体精密计量的理想选择。
主要优势
Nexisense MF-4000 系列气体质量流量计在 MEMS 芯片、信号处理与接口设计方面进行了优化，重点突出稳定性、高精度、抗干扰能力和易集成性，满足 B2B 项目对微小气体计量的严苛需求。
MEMS 热质量传感原理与高精度：采用 MEMS 芯片集成多传感器技术，量程比 100:1，精度 ±(1.5+0.2FS)%，重复性 0.25%。灵敏度高，对极小起始流量即可开始计量，无需温压补偿，避免传统仪表因工况变化产生的误差。零点输出漂移 ±30mV，输出漂移 ±0.12%/℃，长期稳定性优异。
低压损与快速响应特性：最大压损仅 100Pa（3mm 通径）或 600Pa（8mm 通径），对工艺管路影响极小。响应时间默认 10ms，可灵活设置（20/50/100/200/500/1000ms），适合需要快速反馈的过程控制与采样应用。
灵活接口与便于安装：
机械接口丰富：BST1/4（R1/4）、4mm/6mm/8mm 快速接头可选，支持轻松转换。
电气接口：5 针南士 CD R-5 插座，标配配线，便于现场连接。
结构紧凑（外形尺寸约 98mm×48mm×18mm），重量轻（71g~74g），安装简便，适合狭小空间或便携设备集成。
多输出方式与 IoT 易集成性：
输出灵活：线性模拟电压 0.5-4.5VDC（标准）、RS232/RS485 数字输出（可选）、4 位 LED 显示。
RS485/RS232 支持上位机查询瞬时流量、累积流量等数据，便于接入 工业 IoT 平台或自动化系统。
三个按键操作直观，支持参数设置与查询；LED 显示清晰，带指示灯，现场观察便捷。
低功耗设计（8-24VDC，50mA），抗干扰能力强，适应工业现场环境（湿度 <95%RH，无结冰无凝露）。
这些优势使 Nexisense MF-4000 系列从传统微流量计升级为智能计量节点，帮助用户降低安装成本、提升控制精度与系统兼容性。
技术规格
Nexisense MF-4000 系列气体质量流量计主要技术参数：
| 参数项 | MF-4003（3mm 通径） | MF-4008（8mm 通径） |
|---|---|---|
| 最大流量（SLPM） | 2.3 / 4.5（可选） | 10 / 20 / 30 / 40 / 50（可选） |
| 量程比 | 100:1 | 100:1 |
| 精度 | ±(1.5+0.2FS)% | ±(1.5+0.2FS)% |
| 重复性 | 0.25% | 0.25% |
| 零点输出漂移 | ±30mV | ±30mV |
| 输出漂移 | ±0.12%/℃ | ±0.12%/℃ |
| 响应时间 | 10ms（默认，可设置） | 10ms（默认，可设置） |
| 工作电源 | 8-24VDC，50mA | 8-24VDC，50mA |
| 输出方式 | 模拟电压 0.5-4.5VDC / RS232 / RS485（可选） | 模拟电压 0.5-4.5VDC / RS232 / RS485（可选） |
| 显示方式 | 4 位 7 段 LED 数码管 + 2 个指示灯 | 4 位 7 段 LED 数码管 + 2 个指示灯 |
| 显示单位 | 瞬时流量：SLPM；累积流量：SL | 瞬时流量：SLPM；累积流量：SL |
| 显示分辨率 | 0.001 / 0.01 / 0.1（可设置） | 0.01 / 0.1（可设置） |
| 最大压损 | 100Pa | 600Pa |
| 最大工作压力 | 0.5MPa | 0.5MPa |
| 工作温度 | -10℃ ~ 55℃ | -10℃ ~ 55℃ |
| 储存温度 | -20℃ ~ 65℃ | -20℃ ~ 65℃ |
| 工作湿度 | <95%RH（无结冰、无凝露） | <95%RH（无结冰、无凝露） |
| 机械接口 | BST1/4、R1/4、4/6/8mm 快速接头 | BST1/4、R1/4、4/6/8mm 快速接头 |
| 重量 | ≈74g | ≈71g |
| 电气接口 | 5 针南士 CD R-5 插座 | 5 针南士 CD R-5 插座 |
标准校准气体：空气（20℃，101.325kPa）
应用
Nexisense MF-4000 系列微小气体流量计适用于以下精密微流量场景：
医疗与呼吸设备：氧气、空气、笑气等医用气体流量控制，利用高灵敏度与低压损特性，确保安全精准计量。
实验室与气体分析仪：氮气、氩气、二氧化碳等分析气体采样与配比，支持 RS485 接入上位机，实现数据自动记录与标定。
过程控制与气体采样：工业过程气体微流量监控、环境大气采样，便携式安装与快速响应适合现场作业。
半导体与电子制造：保护气体、工艺气体精密输送，量程比宽满足变工况需求。
环保监测与科研设备：微小流量气体检测与泄漏测试，支持累积流量功能与多种输出集成。
气体配比与设备测试：作为标准计量工具，用于气体混合系统或设备性能验证，LED 显示便于现场观察。
布线与安装
安装与接线提示（详见产品手册）：
机械安装：选择合适接口（BST1/4、R1/4 或快速接头），确保气体流向与箭头一致，安装在直管段避免扰流。
电气接线（5 针南士 CD R-5 插座）：
引脚 1（蓝）：TX / RS485 B
引脚 2（绿）：Vout（模拟电压正）
引脚 3（红）：VCC（8-24VDC 电源正）
引脚 4（黑）：GND
引脚 5（黄）：RX / RS485 A
通电前确认接线正确（标配 50cm 配线，一端插头一端散口），缓慢通入气体进行零点检查。
操作：通过三个按键设置参数、切换显示瞬时/累积流量、查询数据。
维护：定期检查接口密封与无机械损坏，MEMS 芯片无活动部件，日常维护简便。
高压或特殊气体应用时，请确认选型兼容性并遵守安全规范。
FAQ
Q1. Nexisense MF-4000 系列微小气体流量计的核心原理是什么？
基于 MEMS 热质量流量计量，利用气体流过传感器时破坏稳定温度场分布的原理，直接测量质量流量，无需温压补偿。
Q2. 不同型号的通径和最大流量如何选择？
MF-4003（3mm）适用于极小流量（最高 5 SLPM）；MF-4008（8mm）适用于较大微流量（最高 50 SLPM），具体根据管径与需求选型。
Q3. 支持哪些输出方式？能否集成 RS485 到 PLC 系统？
支持模拟电压 0.5-4.5VDC（标准）、RS232/RS485（可选），RS485 便于 Modbus 集成，实现上位机数据查询与自动化控制。
Q4. 适用于哪些气体介质？氧气和二氧化碳能否测量？
支持空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳、笑气等多种气体（选型时需指定介质代号 A/B/C/N/O/R），具体兼容性请确认。
Q5. 压损和响应时间表现如何？
压损极低（100~600Pa），响应时间 10ms（可设置），适合对管路影响敏感或需要快速响应的应用。
Q6. 安装接口和接线是否方便？
支持多种螺纹与快速接头，5 针标准插座接线清晰，按键操作简单，适合快速安装与现场使用。
Q7. 显示和功能有哪些？能否显示累积流量？
4 位 LED 显示瞬时 SLPM 与累积 SL，分辨率可设置；支持参数查询与按键操作。
Q8. 工作环境要求与维护注意事项是什么？
工作温度 -10~55℃，湿度 <95%RH；保持气体洁净，定期检查接口，无需复杂维护。
总结
Nexisense MF-4000 系列气体质量流量计以 MEMS 热质量传感技术为核心，凭借高精度微小流量测量、极低压损、快速响应、多输出方式以及灵活接口，为系统集成商和工程承包商提供了一款专业、可靠的微小气体计量解决方案。它有效解决小管径低速气体的计量难题，确保数据准确、安装便捷与系统无缝集成。
无论是在医疗设备的氧气控制，还是实验室的气体分析与过程采样，Nexisense MF-4000 系列都能成为您精密计量系统的稳定基石。
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