Nexisense MF5700 系列气体质量流量计 | MEMS 热式微小气体质量流量计 0-250L/min RS485 Modbus 便携式气体流量传感器

焦点版块

解决微小低速气体流量精准计量与便携集成难题，提供 MEMS 直测、无补偿的高灵敏度质量流量解决方案

Nexisense MF5700 系列气体质量流量计专为 6~12mm 小管径低速气流设计，采用 MEMS 热质量传感芯片，直接输出质量流量，量程覆盖 0-20L/min（MF5706）、0-100L/min（MF5708）、0-250L/min（MF5712），重复性 0.5%，压损低，特别适合空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等常见气体精密计量。

三大核心卖点：

• MEMS 高精度微小流量测量：热质量原理，无需温压补偿，灵敏度高，可对极小起始流量开始计量，全量程高稳定性和优异重复性，显示分辨率低至 0.01L/min。

• 低功耗便携与双供电设计：功耗 ≤10mW，支持 4 节 AA 电池或外部 6-15VDC 电源任意切换，便携式结构轻巧（重量 185g~350g），适合现场采样与实验室使用。

• 易集成 IoT 能力：可选 RS485 输出（Modbus 协议），支持上位机查询数据；LCD 显示瞬时流量（SLPM）与累积流量（NCM），按键操作方便，具备密码保护、总量清零、超量程报警等功能，便于接入 PLC、SCADA 或工业 IoT 系统。

概述

Nexisense MF5700 系列气体质量流量计（型号包括 MF5706、MF5708、MF5712）是基于 MEMS 微机电系统传感芯片研发的热质量式气体质量流量计。该系列专为管径 6mm~12mm 的气体管路中的低速气流流量计量而设计，螺纹接口支持与各种快速接头轻松转换，满足多种气体管路需求。

其核心工作原理为热质量流量计量：当芯片处于工作状态时，在传感器周边形成稳定的温度场分布；气体流过时，流动破坏该温度场分布，形成取决于气体质量和速度的特定温度场变化。芯片上的多传感器集成测量这一变化，并通过专用电路进行放大、调理与线性化处理，从而直接得到气体质量流量或总流量。该设计无需温度压力补偿，保证了高精度计量。

产品特点鲜明：体积小、重量轻（185g~350g）、压损低（≤600Pa~2000Pa）、响应时间 ≤2s、功耗极低（≤10mW）。显示采用 LCD，支持瞬时流量（SLPM，标况 L/min）和累积流量（NCM，标况 m³）双显示，分辨率精细。功能包括密码设置、总量设置与清零、总量报警等。机械接口为 NPT 螺纹（1/4"、3/8"、1/2"），最大工作压力 0.8MPa，工作温度 -10~55℃。

Nexisense 版本在保留 MEMS 核心优势基础上，强化工业 IoT 集成：可选 RS485 通讯接口（Modbus 协议），支持上位机远程查询数据；电池与外部电源双供电设计，极大提升便携性和现场灵活性。系统集成商可轻松将其接入自动化控制系统，实现微小气体流量的实时监测与数据追溯；工程承包商则能在气体采样、过程控制、气体分析仪、医疗设备、实验室标定等项目中快速部署，确保计量过程高效、可靠与低维护。

该系列广泛适用于空气、压缩空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等惰性或常见气体（具体气体兼容性请确认），是低流速微流量精密计量的理想选择。

主要优势

Nexisense MF5700 系列气体质量流量计在 MEMS 芯片、功耗控制与集成层面进行了优化，重点突出稳定性、高精度、抗干扰能力和易集成性，满足 B2B 项目对微小气体计量的严苛要求。

1. MEMS 热质量传感芯片与直接测量：采用微机电系统（MEMS）芯片，在单个芯片上集成多传感器，实现热源产生与温度测量同步。无需温度压力补偿，直接输出高质量流量，保证高精度（±(2.0+0.5FS)%）与优异重复性（0.5%）。灵敏度高，即使极小起始流量也能准确计量，量程比高达 80:1 甚至更高，全量程稳定性强。

2. 低功耗与便携式结构设计：功耗仅 ≤10mW，支持 4 节 AA 电池（LR6）或外部 6-15VDC 电源双供电，任意切换。压损极低（600Pa~2000Pa），对管路系统影响小。设备轻巧便携（185g~350g），适合手持式大气采样或现场快速检测，响应时间 ≤2s，满足实时控制需求。

3. 操作便捷与防护优化：

• LCD 显示清晰，支持瞬时与累积流量，显示分辨率 0.01L/min（标况），按键操作直观。

• 功能丰富：密码保护、总量设置、清零、超量程报警指示。

• 机械接口标准化（NPT 螺纹），支持快速接头转换，安装灵活。

• 工作环境适应性强：温度 -10~55℃，最大压力 0.8MPa，标准校准气体为空气（20℃, 101.325kPa）。

4. 抗干扰与 IoT 易集成性：可选 RS485 输出（Modbus 协议），支持上位机查询瞬时/累积数据，实现远程监控与自动化集成。数字化信号处理，抗干扰能力强。便携式设计结合通讯功能，方便纳入工业 IoT 平台或实验室管理系统，降低系统集成成本。

这些优势使 Nexisense MF5700 系列不仅仅是一款微流量计，更是可灵活部署于便携与在线场景的智能计量设备，帮助用户提升微小气体过程控制精度与数据可靠性。

技术规格

Nexisense MF5700 系列气体质量流量计主要技术参数：

通用参数

应用

Nexisense MF5700 系列气体质量流量计适用于多种微小低速气体计量场景：

1. 实验室与气体分析：精密测量空气、氮气、氧气等气体流量，支持累计计量与数据导出，适合标定、配气与分析仪集成。

2. 过程控制与气体采样：大气采样、环境监测中低速气流计量，便携电池供电设计便于现场作业，RS485 支持远程数据采集。

3. 医疗与呼吸设备：氧气、空气等医用气体流量控制，利用 MEMS 高灵敏度与低压损特性，确保安全精准。

4. 工业气体输送与检测：压缩空气、氩气、二氧化碳等惰性气体微流量监控，集成到 PLC 系统实现自动化过程控制。

5. 能源与环保监测：天然气、沼气等小管道低流速计量，支持总量报警功能，助力能耗管理与泄漏检测。

6. 研发与设备测试：作为便携式计量工具，用于气体流量标准验证或设备性能测试，参数可现场配置。

布线与安装

安装与操作提示（详见产品手册）：

• 机械接口为 NPT 螺纹，直接连接管道或快速接头，确保流向正确（气体正向流动）。

• 安装时避免剧烈振动与强电磁干扰源，管道内气体应洁净、无大量凝结水。

• 供电方式灵活：插入 4 节 AA 电池或连接外部 6-15VDC 适配器；可选 minUSB 通讯电缆连接上位机。

• RS485 接线（选配）：正确连接 A/B 信号线，配置 Modbus 地址与波特率，支持上位机查询数据。

• 操作：通过面板按键设置参数（瞬时/累积单位、总量清零、报警阈值等）， LCD 实时显示；通气前进行零点检查，缓慢通入气体观察稳定性。

• 维护：定期检查电池电量与接口密封，MEMS 芯片无活动部件，日常维护简便。

高温、高压或特殊气体应用时，请提前确认兼容性并咨询技术支持。

FAQ

Q1. Nexisense MF5700 系列与传统气体流量计相比核心优势是什么？
采用 MEMS 热质量芯片，直接测量质量流量，无需温压补偿，灵敏度高、功耗低、便携性强，特别适合 6~12mm 小管径微小流量场景。

Q2. 不同型号的量程如何选择？
MF5706（0~20L/min，6mm）适合极小流量；MF5708（0~100L/min，8mm）为中流量；MF5712（0~250L/min，12mm）适用于较大流量需求。

Q3. 支持 RS485 输出吗？如何集成到系统？
支持 RS485（Modbus 协议，可选），便于接入 PLC、上位机或 IoT 平台，实现远程数据查询与监控。

Q4. 供电方式有哪些？电池能用多久？
支持 4 节 AA 电池或外部 6-15VDC 双供电，超低功耗（≤10mW）使电池续航时间长，适合便携应用。

Q5. 适用于哪些气体？氧气能否测量？
主要适用于空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等常见气体（具体气体请确认兼容性，MF5712 部分型号不推荐用于氧气）。

Q6. 压损和响应时间如何？对管路影响大吗？
压损低（600~2000Pa），响应 ≤2s，对工艺管路影响极小，适合精密控制场景。

Q7. 显示和操作功能有哪些？
LCD 显示瞬时流量（SLPM）与累积流量（NCM），按键支持参数设置、总量清零、报警等，操作直观。

Q8. 安装维护注意事项是什么？
选择合适 NPT 接口，确保气体洁净；定期检查电池与密封，MEMS 芯片维护简便，无需频繁标定。

总结

Nexisense MF5700 系列气体质量流量计以 MEMS 热质量传感技术为核心，凭借高精度微小流量测量、低功耗便携设计、无补偿直接输出以及可选 RS485/Modbus 易集成特性，为系统集成商和工程承包商提供了一款专业、灵活的低速气体计量解决方案。它有效解决微流量场景的计量痛点，确保数据准确、操作便捷与系统兼容性。

无论是在实验室精密分析，还是工业现场气体采样与过程控制，Nexisense MF5700 系列都能成为您可靠的计量伙伴。

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